Silano (SiH 4 )

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Gas especial

El silano es un compuesto de silicio e hidrógeno, normalmente un gas incoloro con un olor a ajo. Es soluble en agua pero casi insoluble en alcohol etílico, éter etílico, benceno, triclorometano, triclorosilano y tetraclorosilano. El silano es mucho más reactivo químicamente que los alcanos y se oxida fácilmente, a menudo encendiéndose espontáneamente al entrar en contacto con el aire. Es un gas especial primario utilizado en procesos microelectrónicos de semiconductores para diversas preparaciones de películas delgadas, incluidas monocristalinas, microcristalinas, policristalinas, óxido de silicio, nitruro de silicio y siliciuros metálicos.

Especificaciones
  • Nº CAS: 7803-62-5
  • Nº ONU: 2203
  • Nº EINECS: 232-263-4
  • Peso molecular: 32.117 g/mol
  • Aspecto: incoloro, olor a ajo
  • Punto de fusión: -185 ℃
  • Punto de ebullición: -112 ℃
  • Densidad: 1.3kg/m³
  • Clase de peligro (DOT): 2.1
  • Etiqueta: Gas inflamable
Aplicaciones

Electrónicos
El silano se utiliza en la producción de semiconductores y selladores, particularmente en el depósito de capas de silicio policristalino en obleas de silicio.

Módulo solar fotovoltaico
El silano se utiliza en la fabricación de módulos solares fotovoltaicos.

Aplicaciones industriales
Se emplea en la producción de vidrio verde energéticamente eficiente y procesos de película delgada de deposición de vapor.

Embalaje
Especificaciones del cilindro de gas Contenido
Capacidad del cilindro Válvula de cilindro Peso
40L DISS632 10kg
440L DISS632 120kg
Silano de grado electrónico (SiH4) 99.9999%
Pureza 99.9999%
Oxígeno (O2) ≤ 0.1ppm
Nitrógeno (N2) ≤ 0.1ppm
Hidrógeno (H2) ≤ 20ppm
Helio(He) ≤10ppm
Monóxido de carbono Dióxido de carbono (CO2) ≤ 0.1ppm
Hidrocarburos totales ≤ 0.1ppm
Clorsilano (SiH3Cl) ≤ 0.1ppm
Disiloxano ≤ 0.1ppm
Disilano (H6Si2) ≤ 0.1ppm
Humedad ≤ 0.1ppm
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